Capteurs

Équipements spécifiques

  • Équipements de synthèse de matériaux actifs :
      • pulvérisation cathodique,
      • effet joule,
      • canon à électrons,
      • sérigraphie…
  • Équipements de dépôt d’électrodes 
  • Équipements de synthèse, polarisation, fonctionnalisation, caractérisation de matériaux piézoélectriques…
  • Équipements pour la réalisation de dispositifs microélectronique, fluidique, acoustique, thermique…
  • Outils de caractérisations de microélectronique
  • Modélisation, instrumentation, expérimentation thermique, micro fluidique, acoustique, hautes fréquences rayonnement d’antennes
  • 4 salles de caractérisation optique
  • 1 Salle dédiée à l’analyse de gaz
  • 4 Bancs de spectroscopie IR à Transformée de Fourier
  • Salle de microscopie acoustique comportant 5 microscopes acoustiques de laboratoire et 1 microscope industriel
  • Moyens d’essais spécifiques : Enceintes climatiques, Presse isostatique, Pots vibrants

Banc de caractérisation des accéléromètres thermiques en mode Alpha R0 et vieillissement

Station sous pointes

Banc de test électrique avec micro-manipulateur

Four de cuisson prothésiste

Permet la cuisson de petites pièces en céramique notamment avec des rampes de montée en température >100°C/min et pour une température maximale de 1200 °C.

Four de cuisson

T max 1200 °C sous balayage de gaz.

Machine de sérigraphie, DEK 248

Banc de test électrique avec micro-manipulateur

Bâti d’évaporation et co-évaporation par canon à électron (double)

Dépôts PVD de couches minces

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Impression jet d’encre DYNAMATIX

Dépôt de couches minces sous la forme d’encre active

Mélangeur tri-cylindre

Formulation d’encres à sérigraphier

Bâti d’évaporation par effet joule

Dépôts PVD de couches minces

Banc de test, haute température et haute tension

Température régulée jusqu’à 450 °C, Tension maximum 10 kV

Banc de mesure coefficient pyroélectrique

Station sous point couplée à élément Peltier.